Glasvezeltemperatuurbewakingssysteem voor halfgeleiderapparatuur en ESC’s
Glasvezeltemperatuurbewaking van ESC’s, etch- en depositieapparatuur met configureerbare kanalen en industriële uitgangen.
SEMICONDUCTOR AND ESC TEMPERATURE MONITORING SYSTEM
Optische temperatuurmeting voor ESC- en RF-apparatuur
Passieve fluorescentieprobes meten temperatuur op geselecteerde apparatuurpunten waar RF-velden en elektromagnetische interferentie elektrische meting bemoeilijken.
Het systeem combineert probes, optische signaalverwerking en gekozen uitgangen. Probeplaatsing, aantal kanalen en apparatuurinterfaces worden voor de toepassing geconfigureerd.
- Geselecteerde thermische punten in een elektrostatische chuck of verwarmingsconstructie voor halfgeleiders.
- Stem de sensortippositie in de ESC-basis, beschermde vezelrouting en instrumentinterface af met de apparatuurontwerper.
Temperatuurterugkoppeling voor halfgeleiderapparatuur
Dit fluorescentieglasvezeltemperatuurbewakingssysteem meet geselecteerde punten in verwarmings- en procesapparatuur voor halfgeleiders. Toepassingen zijn onder meer bases van elektrostatische chucks, etch- en depositieapparatuur en RF- of inductieverwarmingsconstructies.
De sensortip gebruikt temperatuurafhankelijke fluorescentie en is optisch verbonden met het meetinstrument. De configuratie ondersteunt 1–64 kanalen, een bereik van −40 °C tot +240 °C, een resolutie van 0,1 °C en een nauwkeurigheid van ±1 °C. Het aantal kanalen, probegeometrie en opties voor groter bereik of hogere nauwkeurigheid worden op de apparatuur afgestemd.
Een meetperiode korter dan één seconde ondersteunt registratie van temperatuurtrends. Optische signaaldiagnostiek helpt sensorstoringen herkennen; RS485 / Modbus en configureerbare 4–20 mA-uitgang ondersteunen de geplande apparatuurinterface. De meetperiode beschrijft de acquisitietiming en staat los van de thermische responstijd van de gemonteerde probe.
ESC INTEGRATION
Plaats de probe op basis van het thermische proces
Een ESC-installatie begint met het gewenste temperatuurpunt en de beschikbare positie voor de sensortip in de chuckbasis. De apparatuurontwerper bepaalt de montage en route naar het externe instrument.
- Bepaal welke locaties nodig zijn om het verwarmingsproces te karakteriseren.
- Controleer probediameter, vezellengte en beschermde routing.
- Stem optische kanalen en uitgangen af op de besturingsarchitectuur van de apparatuur.
MONITORING AND DIAGNOSTICS
Temperatuurtrends en sensorstatus volgen
Continue puntmetingen ondersteunen bewaking van de apparatuur en storingsanalyse. Optische signaaldiagnostiek levert naast temperatuurmetingen informatie over het meettraject.
- Registreer veranderingen op de gekozen ESC- of verwarmingspunten.
- Gebruik sensorstatusinformatie bij onderzoek naar afwijkende meetwaarden.
- Configureer Modbus-gegevens of analoge uitgangen voor de ontvangende apparatuur.
PRODUCT DATA
Technische specificaties
Stem de uiteindelijke configuratie af op het apparatuurontwerp en de gewenste meetpunten.
APPLICATION FIT
Typische projecttoepassingen
Kies de meetlocatie en integratieopstelling op basis van de thermische vraag die elk kanaal moet beantwoorden.
Temperatuurbewaking van elektrostatische chucks
Toets de functie van dit product, de montagemethode en bijbehorende componenten aan de daadwerkelijke toepassing.
Etch-apparatuur voor halfgeleiders
Toets de functie van dit product, de montagemethode en bijbehorende componenten aan de daadwerkelijke toepassing.
Depositieapparatuur
Toets de functie van dit product, de montagemethode en bijbehorende componenten aan de daadwerkelijke toepassing.
RF- en inductieverwarmingsapparatuur
Toets de functie van dit product, de montagemethode en bijbehorende componenten aan de daadwerkelijke toepassing.
BUYER QUESTIONS
Veelgestelde vragen
Waar wordt de probe voor ESC-meting geïnstalleerd?
De sensortip kan op een gekozen locatie in de basis van de elektrostatische chuck worden geïntegreerd. Positie, montage en beschermde optische routing worden afgestemd met de apparatuurontwerper.
Hoeveel temperatuurpunten kan het systeem bewaken?
Het systeem is configureerbaar van 1 tot 64 kanalen. Het uiteindelijke aantal volgt uit het goedgekeurde meetplan.
Welke interfaces zijn beschikbaar?
RS485 / Modbus-communicatie en een configureerbare analoge uitgang van 4–20 mA zijn beschikbaar. Bevestig de vereiste uitgangsconfiguratie aan de hand van het I/O-plan van de apparatuur.
Betekent een meetperiode van minder dan één seconde dat de probe thermisch binnen één seconde reageert?
Nee. De meetperiode beschrijft de acquisitiecyclus van het instrument. De thermische responstijd hangt ook af van de probeconstructie, montage en het contact met het gemeten onderdeel.
Kan het systeem sensorstoringen herkennen?
Optische signaaldetectie en diagnostische algoritmen ondersteunen het herkennen van sensorstoringen. Bevestig de gewenste statusmeldingen en integratie voor het gekozen instrument.
RELATED PRODUCTS
Bijbehorende componenten en systemen
Deze producten vervullen verschillende functies in hetzelfde optische temperatuurmeettraject.
OEM-module voor glasvezeltemperatuurmeting op maat
Ontwikkeltraject voor een optische meetmodule op maat voor machinebouwers met projectgebonden kanaal-, interface- en mechanische vereisten.
IF-C meerkanaals glasvezeltemperatuurtransmitter
Een configureerbare meerkanaals meetunit die signalen van afzonderlijke fluorescentieglasvezelprobes omzet in temperatuurgegevens, relaisalarmen, RS485-communicatie en optionele analoge uitgangen.
Software voor glasvezeltemperatuurmeting en een cloudplatform op maat
Bewaak glasvezeltemperatuurkanalen met lokale Modbus RTU-software of een cloudplatform op maat voor trends, historische gegevens, apparaatbeheer en alarmen.
PRODUCT CONFIGURATION REVIEW
De juiste productconfiguratie plannen
Vertel ons hoe u deze glasvezeltemperatuurbewaking voor halfgeleiderapparatuur wilt toepassen. INNO kan het meetpunt, de installatieroute, het aantal kanalen en de systeeminterface toetsen aan het gekozen product.
- Meetdoel: Geselecteerde thermische punten in een elektrostatische chuck of verwarmingsconstructie voor halfgeleiders.
- Montagemethode: Stem de sensortippositie in de ESC-basis, beschermde vezelrouting en instrumentinterface af met de apparatuurontwerper.
- Productkeuze: Meetlocaties in de ESC of verwarmingszone
- Systeemvereiste: Communicatie- en alarmvereisten van de apparatuur
Vermeld waar van toepassing het bedrijfstemperatuurbereik, het aantal meetpunten en de vereiste communicatie- of alarmuitgangen.