ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ПО ФЛУОРЕСЦЕНЦИИ
Система контроля температуры оборудования для производства полупроводников
Конфигурация оптических датчиков для выбранных точек технологического оборудования после проверки процесса и требований к монтажу.
Один зонд измеряет температуру в одной заданной физической точке. Для нескольких точек используют независимые зонды и соответствующее число каналов.
Обсудить конфигурацию
ОБЗОР ИЗДЕЛИЯ
Роль изделия в системе измерения
Система объединяет совместимые датчики и прибор для измерения температуры в заданных точках. Состав каналов и выходов определяют по проекту.
Конфигурация оптических датчиков для выбранных точек технологического оборудования после проверки процесса и требований к монтажу. Состав конечной системы определяется оборудованием, измерительными точками и требованиями проекта.
ИНЖЕНЕРНОЕ ПРИМЕНЕНИЕ
Условия применения и интеграции
Система объединяет совместимые датчики и прибор для измерения температуры в заданных точках. Состав каналов и выходов определяют по проекту.
- Питание: переменного / постоянного тока 220 В
- Диапазон температуры: −40…+240 °C; extended range by configuration
- Channels: 1–64, configured to the equipment
- Точность измерения: ±1 °C; enhanced accuracy by configuration
ИНЖЕНЕРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
Размещение зонда в оборудовании для обработки полупроводников
Система измеряет температуру в выбранных местах нагревательной установки, например в основании электростатического патрона или сборке нагрева. Точки и конструкцию зонда согласуют с разработчиком оборудования и тепловым процессом.
- Определите измерительные места в ESC или зоне нагрева.
- Согласуйте диаметр зонда, длину волокна и защищённую трассу.
- Подберите число каналов под план измерений.
ИНЖЕНЕРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
Тренды, состояние датчика и интерфейс оборудования
Измерительный прибор может использоваться для регистрации изменений на выбранных точках; диагностические и интерфейсные функции зависят от исполнения. Период опроса ниже одной секунды, указанный для системы, не следует путать с тепловым временем отклика установленного зонда.
- Согласуйте RS485/Modbus или аналоговый выход с оборудованием.
- Определите, какие данные о каналах и состоянии нужно регистрировать.
- Подтвердите диапазон и точность для заказанной конфигурации.
ПАРАМЕТРЫ МОДЕЛИ
Характеристики и варианты исполнения
Параметры ниже взяты из карточки изделия. Наличие конфигурации и точные условия применения следует подтвердить для проекта.
Питание: переменного / постоянного тока 220 В
Диапазон температуры: −40…+240 °C; extended range by configuration
Channels: 1–64, configured to the equipment
Точность измерения: ±1 °C; enhanced accuracy by configuration
Разрешение: 0.1 °C
Communication: RS485 / Modbus
Аналоговый выход: 4–20 мА option
Период измерения: Less than 1 с
Optical fiber: Quartz; length configurable up to 20 m
Диаметр зонда: 2.5 мм; smaller sizes by configuration
ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
Где используют эту конфигурацию
Пригодность зависит от физической точки измерения, конструкции зонда и условий прокладки оптического волокна.
СОВМЕСТИМЫЕ ИЗДЕЛИЯ
Связанные продукты
ВОПРОСЫ ПО ИЗДЕЛИЮ
Частые вопросы
Где устанавливают зонд для измерения температуры ESC?
Зонд размещают в заданной точке электростатического зажимного устройства (ESC) по согласованной схеме установки. Положение, контакт и защиту зонда проверяют по конструкции оборудования.
Сколько точек температуры может контролировать система?
Число точек зависит от комплектации прибора и количества каналов. Для каждой независимой точки требуется отдельный флуоресцентный зонд и назначенный канал.
Какие интерфейсы доступны?
Интерфейсы зависят от выбранного прибора и конфигурации проекта. Необходимые протоколы и обмен данными нужно сверить с системой управления оборудованием.
Период измерения менее секунды означает, что зонд термически реагирует за одну секунду?
Нет. Период получения показаний и тепловое время отклика зонда — разные параметры. Фактическое время отклика зависит от конструкции наконечника, контакта и условий испытания.
Может ли система выявлять неисправность датчика?
Это зависит от возможностей выбранного прибора и предусмотренной диагностики каналов. Проверку обрыва, некорректного сигнала и способ индикации следует подтвердить для конфигурации.
ИНЖЕНЕРНАЯ КОНСУЛЬТАЦИЯ
Обсудите конфигурацию с INNO
Для оценки укажите тип оборудования, измерительную точку, диапазон температуры, требования к монтажу и количество независимых каналов.