半導体・ESC光ファイバー温度監視システム
半導体ESC、エッチング・成膜装置向け光ファイバー温度監視。チャンネル数と産業用出力を構成できます。
半導体機器の温度フィードバック
この蛍光式光ファイバー温度監視システムは、半導体加熱・加工装置の所定点を測定します。用途には、静電チャックのベース、エッチング・成膜装置、RF・誘導加熱部などがあります。
感温先端は温度依存の蛍光を利用し、測定計測器へ光学的に接続します。この構成は1–64チャネル、−40 °C～+240 °C、分解能0.1 °C、精度±1 °Cに対応します。チャネル数、プローブ形状、測温範囲拡張や高精度化のオプションは、機器に合わせて選定します。
1秒未満の測定周期で温度傾向を収集できます。光信号診断はセンサ故障の識別を支援し、RS485／Modbusと構成可能な4–20mA出力が計画した機器インターフェースに対応します。測定周期はデータ取得のタイミングを示し、設置後のプローブの熱応答とは別の値です。
ESC組込み
熱プロセスに合わせたプローブ配置
ESCへの設置は、対象温度点とチャックベース内の感温先端部を置ける位置の確認から始めます。機器設計者が固定構成と外部計測器までの経路を定めます。
- 加熱プロセスの特性把握に必要な位置を特定します。
- 径、長さ、保護配線を確認します。
- 光チャンネルと出力を機器の制御構成に合わせます。
監視と診断
温度傾向とセンサ状態を追跡
継続的な点測定は機器監視と故障解析を支援します。光信号診断では、温度値に加えて測定経路の情報を得られます。
- 選定ESC・加熱点の変化を記録します。
- 異常測定値の調査にはセンサ状態情報を使用してください。
- 受信機器向けにModbusデータ・アナログ出力を構成します。
製品データ
技術仕様
機器設計と必要測定点に合わせて最終構成を選定してください。
用途適合性
一般的な案件用途
各チャンネルで明らかにしたい熱的な問いに合わせ、感温位置と統合構成を選びます。
静電チャック温度監視
実際の用途に照らし、本製品の役割、設置方法、関連部品を検討してください。
半導体エッチング機器
実際の用途に照らし、本製品の役割、設置方法、関連部品を検討してください。
成膜装置
実際の用途に照らし、本製品の役割、設置方法、関連部品を検討してください。
RF・誘導加熱機器。
実際の用途に照らし、本製品の役割、設置方法、関連部品を検討してください。
購入検討者の質問
よくある質問
ESC測定ではプローブをどこに設置しますか。
静電チャックベースの選定位置に感温先端を組み込めます。位置、取付方法、保護された光経路は、機器設計者と合意して決めます。
システムは何点の温度を監視できますか。
システムは1～64チャネルで構成できます。最終数は承認済みの測定点計画に従います。
どのインターフェースがありますか。
RS485／Modbus通信と、構成可能な4–20mAアナログ出力を利用できます。機器のI/O計画に合わせて必要出力構成を確認してください。
測定周期1秒未満は、熱応答1秒を意味しますか。
いいえ。測定周期は計測器の収集サイクルを示します。熱応答はプローブ構造、取付け、測定部との接触にも依存します。
センサ故障を特定できますか。
光信号検出と診断アルゴリズムにより、センサ故障の識別を支援します。必要な状態通知と統合を、選定計器について確認してください。
関連製品
関連部品・システム
これらの製品は、同じ光学温度測定経路で異なる役割を担います。
特注OEM光ファイバー温度測定モジュール
個別のチャンネル、インターフェース、機械的制約を持つ機器メーカー向けの、カスタム光学温度収集モジュール開発。
IF-C多チャンネル光ファイバー温度伝送器
個別の蛍光式光ファイバープローブの信号を温度データ、リレー警報、RS485通信、オプションのアナログ出力に変換する、構成可能な多チャネルホストです。
光ファイバー温度監視ソフトウェア・特注クラウドプラットフォーム
ローカルModbus RTUソフトウェアや特注クラウドプラットフォームで、光ファイバー温度チャネルのトレンド、履歴、機器管理、警報を監視します。
製品構成の確認
適切な製品構成を計画
この半導体用光ファイバー温度監視の用途をお知らせください。INNOは測定点、設置経路、チャンネル要件、システムインターフェースを選定製品と照合します。
- 測定対象： 静電チャック・半導体加熱部の選定熱測定点。
- 設置方法： ESCベース内の先端配置、保護配線、計測器インターフェースを機器設計者と調整してください。
- 製品選定： ESC・加熱ゾーン測定位置
- システム要件： 機器通信と警報要件。
該当する場合、使用温度範囲、測定点数、必要な通信・警報出力を含めてください。